Tesis:
Contribución a la tecnología de fabricación de modfets sumicronicos sobre GaAs
- Autor: LOPEZ REBOLLAL, Eduardo
- Título: Contribución a la tecnología de fabricación de modfets sumicronicos sobre GaAs
- Fecha: 1992
- Materia: Sin materia definida
- Escuela: E.T.S. DE INGENIEROS DE TELECOMUNICACION
- Departamentos: INGENIERIA ELECTRONICA
- Acceso electrónico:
- Director/a 1º: MUÑOZ MERINO, Elías
- Resumen: El núcleo temático de esta tesis se centra en la problemática tecnológica que presenta la fabricación de transistores tipo MODFET sobre estructuras AlGaAs/GaAs y AlGaAs/InGaAs GaAs, para aplicación de muy alta frecuencia. La tesis se ha organizado en tres partes. La primera es una introducción general al tema en la que se comentan los modos de funcionamiento de los dispositivos. La segunda parte constituye la más importante del trabajo, y en ella se describen todos los procesos tecnológicos necesarios para la fabricación de los dispositivos a partir del material base. En la tercera y última parte se presentan los resultados experimentales que se obtuvieron en los distintos tipos de transistores fabricados